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行業(yè)產(chǎn)品

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柯岷國際貿(mào)易(上海)有限公司


微型采樣系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時間:2023-09-28 13:10:05瀏覽次數(shù):156次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:32條

所在地區(qū):上海上海市

聯(lián)系人:宋先生

產(chǎn)品簡介

微型采樣方法(已在日本和美國取得zhuanli)已在半導體器件分析領(lǐng)域成為一款工具,它正迅速向更小制樣方向發(fā)展。僅用一小時左右即可獲得一個微小樣品,以便于STEM分析,其定位精度可達到0.1 µm以下。

詳細介紹

 聚焦離子束(FIB)微采樣裝置和聚焦離子束(FIB)微采樣方法

日立掃描電子顯微鏡



◆ 聚焦離子束(FIB)微柱狀制樣實例

一個微柱狀樣品,包含一個直接從半導體器件上準確地切割下來的分析點。改變?nèi)肷渚劢闺x子束(FIB)的方向,把微樣品切割或加工成任意形狀。

日立掃描電子顯微鏡

◆ 聚焦離子束-掃描透射電子顯微鏡系統(tǒng)

新開發(fā)的半導體裝置評估系統(tǒng)由FB2200聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)和HD-2700 200 kV(STEM)掃描透射電子顯微鏡構(gòu)成。從對材料缺陷(組織)的搜索到亞納米薄膜高精度結(jié)構(gòu)分析,只要幾小時即可完成。


日立掃描電子顯微鏡


聚焦離子束-透射電子顯微鏡(掃描透射電子顯微鏡)(FIB-TEM(STEM))的樣品桿可互換共用


 DRAM 觀察實例

針尖頂端的微柱狀樣品SEM像            微柱狀樣品的明場STEM像

日立掃描電子顯微鏡       日立掃描電子顯微鏡




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