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超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

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產(chǎn)品簡介

沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間,使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)采用污染小、高真空樣品倉運用能量過濾器(選配),可觀察到多種成分對比度*2極低著陸電壓下高分辨觀察樣品:金顆粒著陸電壓:10 V

詳細(xì)介紹

概述
產(chǎn)品參數(shù)
  • 沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2

  • 采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間,使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能
    (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)

  • 采用污染小、高真空樣品倉

  • 運用能量過濾器(選配),可觀察到多種成分對比度*2

極低著陸電壓下高分辨觀察

極低著陸電壓下高分辨觀察
樣品:金顆粒
著陸電壓:10 V

超高分辨觀察

超高分辨觀察
樣品:Pt催化劑
加速電壓:30 kV

低加速電壓下高分辨EDX分析

低加速電壓下高分辨EDX分析
樣品:Sn球
著陸電壓:1.5 kV

  • *2

  • Regulus8240/8230/8220


產(chǎn)品參數(shù)
項目內(nèi)容
圖像分辨率二次電子分辨率0.8 nm/15 kV
0.9 nm/1 kV
放大倍率20~2,000,000 x
電子槍發(fā)射體ZrO/W熱場發(fā)射(肖特基熱場發(fā)射)
加速電壓0.1~30 kV (步進:0.01 kV)
束流200 nA
探測器標(biāo)準(zhǔn)探測器UD (上探測器)
MD (中探測器)
LD (下探測器)
選配探測器*1PD-BSED (半導(dǎo)體式背散射電子探測器)
UVD(高靈敏度低真空探測器 )
低真空模式*1樣品倉壓力范圍5~300 Pa
可使用探測器PD-BSED, UVD, UD, MD, LD
馬達臺馬達臺控制5軸馬達驅(qū)動
移動范圍X0~135 mm
Y0~100 mm
Z(WD)1.5~40 mm
T(傾斜角)-5~70°
R(旋轉(zhuǎn)角)360°
樣品尺寸直徑:φ200 mm, 高度:80 mm
顯示器*123英寸LCD (1,920×1,080), 支持雙屏
圖像顯示模式全屏顯示模式1,280×960像素顯示
單屏顯示模式800×600像素顯示
雙屏顯示模式800×600像素顯示、1,280×960像素顯示 *2
四屏顯示模式640×480像素顯示
六屏顯示模式*2640×480像素顯示 *2
圖像數(shù)據(jù)保存保存圖像尺寸640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680
選配附件能譜儀(EDX)
X射線波譜儀(WDX)
電子背散射衍射(EBSD)
陰極熒光探測器(CL)
冷凍傳輸系統(tǒng)
各種功能樣品臺
  • *1

  • 為選配項。

  • *2

  • 支持雙屏顯示。


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